接触式机械密封在运转时，动环和静环流体机械密封的接触面要摩擦生热，对于高PV值系统，摩擦热在密封面上造成高温，会使磨损和热变形增大;当温度超过一定值时，润滑膜汽化，摩擦和磨损加剧;如果温度大大超过材料允许的使用温度，则密封环可能产生熔融、胶合或大耐泵机械密封热裂等故障，造成停工停产，带来巨大的经济损失或环境污染。因而，接触式机械密封有必要利用流体动压效应来提高密封的承载能力，减小摩擦、磨损和漏损，提高密封的可靠性，延长密封的寿命。利用流体动压效应的通常做法是在摩擦副的一个密封面上开设某种形状的流体动压槽。在这些流槽的作用下，普通排污泵机械密封的接触式密封变成流体动压非接触式密封。这些流槽能起流体动力润滑作用，使密封端面脱离接触，又能起密封作用防止泄漏。根据机械密封的工况条件、工作参数及使用要求，流槽可以设计成不同的平面图形和截面槽形。平面图形有人字槽、八字槽、螺旋槽、圆弧槽、直线槽等，截面槽形有梯形槽、方形槽、V形槽、斜底槽等。流槽按槽深可分为两大类：一类是浅槽，深度在μm量级;一类是深槽，深度在mm量级。不同深度的流槽作用机理不同，浅槽的密封机理为流体动压效应，而深槽的密封机理为热流体动力模效应或流体动压垫效应。流槽的几何参数对密封性能影响很大，如槽深、槽数、槽径比、入口角及槽面粗糙度等都直接关系到开启力、泄漏量、刚漏比、端面温升、摩擦系数等密封性能参数的大小。μm级的浅流槽当槽深仅差几个μm时，泄漏量就会有很大的变化，因而精确设计和加工动压槽直接影响着机械密封的质量。目前，我国的机械密封工业已有长足的发展，国产的机械密封产品正运行在某些大型或关键的设备上，有的还取代了进口产品，累计运行已达5年以上。但是要进一步提高机械密封产品的档次，还必须从设计、材料、工艺等诸方面作许多工作，如密封环端面流体动压槽的加工问题便是其中突出的一个。

2密封材料

密封材料的性能直接关系到动压槽的加工。在通常的情况下，摩擦副的硬环多选用WC硬质合金制作。因WC硬质合金具备硬度较高、耐磨损性能较好、强度较高等特点，所以是一种较好的密封材料。但是，随着工业的发展，机械设备的性能要求越来越高，工况条件可能是高压、高速、高温等，而密封介质又可能具有强腐蚀性或者含有磨料颗粒等，在这些情况下，WC硬质合金就不是理想的密封材料了。高参数的工况条件给机械密封的研制提出了新的要求，尤其是作为摩擦副硬质材料的质量应达到更高的标准，如耐磨损性、耐腐蚀性、机械强度、耐热性、自润滑性、气密性、可加工性以及与之配对的材料无过大磨损和电化学腐蚀等。而SiC陶瓷几乎满足了上述的所有要求，是近年开发并投入使用的新的硬质密封材料，在化工、炼油、造纸、汽车、原子能、航空、航天等各个工业部门的机械密封中，被越来越多地选为摩擦副材料。可以说，为适应机械密封的发展，新的密封材料会不断地被开发。

3密封环端面流体动压槽的加工方法

密封环动压槽在非接触机械密封中得到越来越多的应用，但是动压槽的形状复杂，结构精细而精度高，粗糙度要求也严格，尤其是加工动压槽的密封环多是硬质材料的，所以动压槽的加工困难很大，常规的机械加工法几乎无能为力，因而，人们探索了多种方法，主要有以下几种：

3.1光刻法(化学腐蚀)

先在被刻槽的工件上涂以感光胶膜，然后将事先准备好的底片放于其上，经曝光，显影，涂保护层，再在蚀刻液中浸蚀，便可得到所需的动压槽。这一方法在青铜上刻槽尚可，在硬质合金上刻槽时，由于胶膜在较高温度下耐不住浸蚀液的的长时间腐蚀，所以刻出的槽形质量不高。

3.2电火花加工(电蚀刻)

该方法是利用两个电极放电的方法，将动压槽内待去除的材料蚀刻掉。该方法的关键是制作放电头，放电头端面结构和密封环端面动压槽结构相同，但图案是突出的。密封环和放电头分别作两个电极通电，当两个端面接触时，产生放电，密封环端面动压槽部位的材料即被蚀刻掉。不过这一方法要求电介质性能要好，放电头端面与密封环端面要平行等，以取得均匀放电的效果，否则各槽的槽深将难以保证。这一方法的缺点是加工放电头困难;电蚀刻的效率太低，否则放电头损耗又较大;加工成本高;效果也欠佳;同时电加工产生的表面应力造成的微裂纹会使材料的强度降低。

3.3电镀法

这一方法是将密封环端面动压槽以外的部位镀上一层硬质材料，从而制成动压槽的图案。这一方法的使用条件首先槽要浅，其次被镀端面必须是能够电镀的材料，而且镀层要致密，和被镀面结合强度要足够高。同时电镀过程中被镀件悬挂要正确，否则不同部位的镀层厚度误差将加大，造成槽深的不均匀，这样也破坏了密封环两个端面的极高的平行度。

3.4喷砂法

这一方法首先要制造喷沙掩膜，掩膜上开孔的图案同于动压槽结构。当掩膜置于密封件端面上时，端面上动压槽以外的部位被盖住，露出的部位的材料被高能喷沙去除，形成一定深度的动压槽。这一方法的技术关键在于掩膜材料的选择、掩膜的制造、掩膜与密封环端面的贴合及喷砂工艺的掌握等。喷沙方法的问题是制造精度较低，加工的动压槽的边缘不齐，尖角等精细部位的失真严重，截面槽形不好，喷砂面粗糙等，这些都会影响槽线的流体动压效果及密封特性。